韓国化学メーカーがEUVレジスト用高純度溶剤の開発に成功、韓国メディア報道 - マイナビニュース

韓国のChemitronicsが半導体のEUV露光などの工程で使用されるフォトレジストの有機溶剤を構成する材料を高純度で生産することに成功したと韓国メディアが関連キーワードはありません